1）印模法：尺寸测量仪利用石腊、低熔点合金或其它印模材料，压印在被测零件表面，放在显微镜下间接地测量被测表面的粗糙度。适用于笨重零件及内表面。
2）比较法：尺寸测量仪将被测表面和表面粗糙度样板直接进行比较，多用于车间，评定表面粗糙度值较大的工件。
3）干涉法：尺寸测量仪利用光波干涉原理，用干涉显微镜测量。可测量rz和ry值。
4）光切法：尺寸测量仪利用光切原理，用双管显微镜测量。常用于测量rz为0.5～60μm。
5）针描法：尺寸测量仪利用触针直接在被测表面上轻轻划过，从而测出表面粗糙度ra。
对工件表面粗糙度的检测，是尺寸测量仪的常用范围，掌握检测它的各种方法，对于我们操作人员使用尺寸测量仪是很有帮助的。